一、真空室
1、真空室体内径Φ,内高H,主体材料为SUS不锈钢焊接,顶底板
δ25mm,内围板δ10mm,水套板δ6mm,真空室采用水套冷却;
2、前开大切门,右手开门,前门置矩形观察窗mm×82mm,带遮挡板;
3、内部转架两边安装加热器。安装于真空室内中间及四周;
4、真空室焊接水套冷却,底进顶出,真空室冷却采用直冷式水路循环;
5、采用下转架,底部引入传动机构与偏压输入端子;
7、于顶板后方置真空计预留口KF16×2个,用于安装真空规管;
8、于真空室顶板上安装热电偶,于高阀上方安装充气阀;。
二、抽气机组
1、粗抽泵2X-70旋片泵,2台
2、助力泵RTO.s罗茨泵,1台
(罗茨泵出气口选用底部法兰口与粗抽泵连接)
3、分子泵JTFB-3,2台
4、维持泵2X-70旋片泵,1台
5、粗抽管道与维持管道采用旁通阀连接
三、蒸发源配置
1、Φ定向圆柱电弧靶二组(4套/组+4套/组,共8套)
2、气动引弧机构,辅助阳极自动补偿电压回路、自动保护过电流系统
3、电弧靶靶材面至工件面初始距离mm,标配钛稳弧≤60A。
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